液相外延

外延工艺方法-Silicon Based Epitaxial Thin Films

外延被定义为“一种晶体物质在另一种晶体物质上的规则取向生长”。同质外延（在与衬底相同材料上生长外延层）和异质外延（在与衬底不同的材料上生长外延层）这两种工艺都用于半导体器件制造。根据界面条件和晶格参数，异质外延膜可以形成应变或弛豫的晶格结构。